Komponenten aus Quarzglas
Heraeus Quarzglas liefert hochwertige Quarzglasprodukte in die gesamte Wertschöpfungskette der Halbleiterindustrie - angefangen bei den Silizium-Waferherstellern über die Anlagenbauer, bis hin zur Chip-Fabrik. Heraeus Quarzglas gehört mit einem Portfolio von mehr als 3000 Bauteilen zu den Markt- und Technologieführern in diesem Segment.
Quarzkomponenten werden innerhalb eines Maskenzyklus’ in verschiedensten Prozessen eingesetzt, u.a. in Beschichtungs- und Ätzprozessen. Dabei kommt entweder Batch-Technologie zum Einsatz (viele Wafer werden gleichzeitig prozessiert) oder Single-Wafer-Technologie (Wafer werden einzeln prozessiert)
Auch in der Wertschöpfungskette der Solar- und Photovoltaikindustrie spielt Quarzglas eine wichtige Rolle. Quarzkomponenten werden in Anlagen zur Herstellung von Solarzellen der 1. Generation als auch von Solar-Panels der 2. Generation verwendet.
Neben der Halbleiter- und Solarindustrie gibt es zahlreiche weitere Anwendungen für Quarzglasprodukte, u.a. aus der chemischen Industrie oder der Telekommunikation.
für Halbleiter Batch-Anwendungen
Quarzglaskomponenten für CVD, Epi, u.a. Anwendungen: Prozessrohre, Liner, Boote, Pedestals, etc
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für Halbleiter-Single-Wafer-Anwendungen
Quarzglaskomponenten für Trockenätzprozesse, Epitaxie, u.a.: Profilringe, Verteilerplatten, Dome, etc
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für Solar-Anwendungen
Quarzglaskomponenten für die Herstellung von Solarzellen oder Solar-Panels: Prozessrohre, Boote, etc.
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für andere Anwendungen
Quarzglas für kundenspezifische Nutzung in verschiedenen Industrieprozessen
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