Quarzglaskomponenten für Batch-Anwendungen

Innerhalb der Chipherstellung werden Batch-Systeme für Beschichtungs- und Hochtemperaturprozesse verwendet. In diesen Systemen ist Quarzglas das einzige Material, mit dem die wertvollen Wafer in direktem Kontakt sind. Hochwertige Quarzkomponenten für solche System sind u.a.:

und viele weitere komplexe Produkte.

Heraeus Quarzglas unterstützt alle gängigen Anwendungen (CVD-Abscheidung, Epitaktische Abscheidung, Oxidation, Hochtemperaturprozesse, u.v.m.) und Technologien bis hin zur aktuellen Wafergrösse von 300mm (12“). Dabei kann Heraeus Quarzglas auf verschiedene Quarz-Basismaterialien zurückgreifen. Im Angebot sind zusätzlich spezielle Oberflächenbehandlungen sowie eine Endreinigung, die es unseren Kunden ermöglicht, das Quarzbauteil ohne Eingangsreinigung im Prozess zu verwenden.

Die optimale Funktion der Quarzkomponenten wird durch das Design, das Basismaterial, und dessen Oberflächenbeschaffenheit sowie –reinheit bestimmt.