Quarzglaskomponenten für Single-Wafer Anwendungen

In Single-Wafer Anwendungen wird ein einzelner Silizium-Wafer prozessiert. Hochwertige Quarzkomponenten für solche System sind u.a.:

Heraeus Quarzglas unterstützt alle gängigen Single-Wafer Anwendungen wie Plasmaätzen, Epitaxie, RTP (Rapid thermal processing), u.v.m. Es werden Komponenten für alle gängigen Technologien bis hin zur aktuellen Wafergrösse von 300mm (12“) gefertigt. Dabei kann Heraeus Quarzglas auf verschiedene Quarz-Basismaterialien zurückgreifen. Im Angebot sind zusätzlich spezielle Oberflächenbehandlungen sowie eine Endreinigung, die es unseren Kunden ermöglicht, das Quarzbauteil ohne Eingangsreinigung im Prozess zu verwenden.

Die optimale Funktion der Quarzkomponenten wird durch das Design, das Material, und dessen Oberflächenbeschaffenheit sowie –reinheit bestimmt.